- 种类：集成电路(IC)
- 品牌：芯明天科技
- 型号：p78/p18/n12
中空式压电扫描台是移动台面有透空通孔的直线压电平台，可将负载以亚纳米级精度移动。压电扫描台具有高可靠性、高分辨率，且具有非常优秀的运动线性度和平面度，及更高的机械强度。经常在显微步进中使用。它的快速步进与稳定的运动改善了光学系统中的分辨率。这包括相机成像过程技术和图像识别，例如生物识别技术。而且，它具有一个独特的特点，在中心处有一个大的中孔。这可在光学路径中创造更好光学路径条件。
中空式压电扫描台主要应用于透光精密光学器件的定位与调整，可与显微镜和分析设备结合使用用于定位与测量。如扫描探针显微（例如afm原子力显微镜）、纳米定位、计量、生物学研究、微电子、微操作、精密控制等。
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杨明远
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